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聚四氟乙烯清洗架

涉及一种应用于半导体清洗工艺中的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构,其包括把手和一个以上花篮本体,所述把手上设置一个以上卡槽,所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。所述卡槽采用T型卡槽。所述花篮本体上端面上分布二个以上可以容置硅片的浅槽。所述浅槽的槽底部设置复数个竖直通孔。本实用新型在保有现有聚四氟乙烯清洗花篮各种优点的同时,还可用于同时清洗多品种、多规格的多片小片,且其底部设置的通孔还提高了清洗的效率,再者,利用卡槽,尤其是T型卡槽固定花篮本体和把手,使得清洗花篮更加坚固耐用,且便于安装拆卸,并使得清洗花篮还易于运输和收储。

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